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當前位置:首頁產品中心HORIBA高溫磷酸/化學藥液濃度計CS-900非接觸式化學藥液濃度計

非接觸式化學藥液濃度計
產品簡介:

HORIBA/堀場CS-900非接觸式化學藥液濃度計,為達到半導體濕法制程中所需的嚴格化學藥液濃度控制,HORIBA通過設計緊湊設備,以及通過其原有傳感器設計保持穩定測量和確保操作人員安全,實現更強大功能以滿足需求。

產品型號:CS-900

更新時間:2025-11-25

廠商性質:代理商

訪問量:99

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非接觸式化學藥液濃度計

HORIBA/堀場CS-900非接觸式化學藥液濃度計的產品詳情:

CS-900為達到半導體濕法制程中所需的嚴格化學藥液濃度控制,HORIBA通過設計緊湊設備,以及通過其原有傳感器設計保持穩定測量和確保操作人員安全,實現更強大功能以滿足需求。

產品特點:

無接觸,高度穩定

從外部將傳感器直接連接到PFA管路,實現無污染。這消除了在安裝傳感器時進行管路施工的要求,從而減少化學事故。此外,通過升級光學系統,設備變得更加緊湊,同時保留 CS-600F*1的原始規格。

高質量、穩定測量

污染配備溫度補償功能,實現穩定測量配備 HORIBA 原始算法,補償氣泡影響重復性和穩定性與常規的 CS-600*1 相同。

抑制振動效應

HORIBA 采用抗錯位強的光學系統結構,與 HORIBA的原始管路結構協同配合。

節省空間

光源和光學傳感器已集成至樣品單元。平板顯示器(9.6cm x 9.6cm)。

光源壽命更長

使用LED燈,延長使用壽命(5 年質保期)。

提高工作安全性

每半年一次的背景校正補償周期安裝產品時無需安裝管路,有助于減少化學藥液泄漏等事故。

*1 CS-600 是 HORIBA 的光纖型化學藥液濃度計。

不使用光纖的光學設計和主機,加上傳感器的縮小提升了安裝的自由度

非接觸式化學藥液濃度計

對于寬溫度范圍(20℃ 至 80℃)的化學藥液,可進行直接、穩定的測量

穩定性

測量條件測量頻率:每 3 秒移動平均數:16 次溫度:室溫管徑:3/4 英寸

初始樣品濃度

NH3 : 0.95%    H2O2 : 5.15%    H2O: 93.9%

測量結果

樣品(實際液體)測量1小時,展示出良好的穩定性。

非接觸式化學藥液濃度計

非接觸式化學藥液濃度計

HORIBA/堀場CS-900非接觸式化學藥液濃度計的產品參數:非接觸式化學藥液濃度計

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